國際半導體展 亞智大秀RDL製程

生成式人工智慧（Generative AI）的迅猛發展推動了高階AI伺服器需求的急劇增長，這進一步推升了對強大GPU運算能力、SoC和龐大HBM記憶體系統的整合需求，這也隨之帶動晶片互聯與I/O數量的指數級增長，AI GPU晶片的尺寸也不斷擴大，因此12吋晶圓級封裝產能因此面臨壓力，尤以爲首的CoWoS供不應求。在這樣的背景下，面板級封裝因爲擁有較高的面積利用率，提供了更高的產能和較低的生產成本，Manz亞智科技總經理林峻生指出：「將晶片排列在矩形基板上，最後再透過封裝製程連接到底層的載板上，讓多顆晶片可以封裝在一起，Chip-on-Panel-on-Substrate（CoPoS）「化圓爲方」的概念，是封裝的大趨勢。」Manz不斷朝此方向精進，目前也積極應用玻璃於先進封裝技術中，未來玻璃基板的導入將同時提高封裝效能與改善散熱性能，這也成爲Manz推動面板級封裝新技術成長的重要因素。

先進封裝大致由印刷電路板、IC載板以及晶圓三大領域組成，是延續摩爾定律的進程，而RDL製程是確保先進封裝可靠性的關鍵支柱，爲了滿足新興應用AI的性能需求，Manz在RDL製程經驗的基礎上進行了前瞻性的技術研發，投入更多研發能量，轉向以玻璃基板爲基礎的架構，目標是使晶片整合封裝具備更高頻寬、更大密度和更強散熱能力，伴隨增大基板尺寸以提高生產效率與產能。

因此，Manz的RDL技術再度精進，聚焦於高密度玻璃與多樣化化學品等製程材料的合作開發與製程設備整合設計，強調針對不同類型、不同厚度的玻璃達成內接導線金屬化製程與TGV製程技術，滿足高縱深比的直通孔、高真圓度等製程需求，利用不同溫度控制、流態行爲控制及化學藥液，有效控制玻璃通孔內形狀配置及深寬比，滿足客戶多元規格要求，是半導體制造商用於生產先進2.5D和3D封裝的最佳利器。

無論是先晶片（Chip First）還是後晶片（Chip Last）製程，或是對應不同的導電架構，Manz亞智科技與來自不同領域的客戶、材料商及上下游設備商緊密合作，應對RDL線路增層挑戰，共同發展多樣化AI晶片量產解決方案。

SEMICON Taiwan 2024展期間，Manz於南港展覽館二館一樓Q5152展位展出面板級封裝RDL生產設備解決方案，籲請各界參觀。