捷佳偉創取得靶材供料設備與真空鍍膜設備專利，實現對不間斷供料，保證工藝的持續進行

金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知識產權信息顯示，深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司取得一項名爲“靶材供料設備與真空鍍膜設備“，授權公告號 CN112553582B，申請日期爲 2020 年 12 月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種靶材供料設備與真空鍍膜設備，靶材供料設備中，第一密封模組用於打開或者切斷第一存儲模與外界的連通；第二密封模組用於於打開或者切斷第一存儲模組與第二存儲模組的連通；第一上料模組用於在第二密封模組處於切斷狀態時將靶材送入第一存儲模組；第二上料模組用於在第一密封模組處於切斷狀態，且第二密封模組處於打開狀態時，將所述第一存儲模組中的靶材移送至第二存儲模組；第三上料模組用於將第二存儲模組上的靶材移送至設定位置。本發明實施例的靶材供料設備可以實現對不間斷供料，保證工藝的持續進行。同時，第二容器可以始終保持與外界的隔離，避免破壞反應位置的真空狀態。

本文源自：金融界

作者：情報員