陸半導體設備 拚追上國際

中微半導體董事長尹志堯。（央廣網）

大陸國產半導體刻蝕設備領域的龍頭大廠中微半導體董事長尹志堯表示，儘管大陸在半導體設備領域與國際先進水準存在差距，但在未來五到十年內，完全有可能達到國際先進水準。

尹志堯指出，在當前晶片生產線上所有設備當中，大陸國產設備佔比僅15%-30%，特別是光刻（微影）系統、離子注入工具和電子束檢測系統方面，是大陸最薄弱的領域。中微公司目前也在佈局電子束檢測等領域，以解決晶片光刻環節中的一些薄弱環節。他透露，中微公司主要零部件的自主可控率已達到90%以上，到今年第3季末可以達到100%。

中微董座談陸半導體設備發展

尹志堯說明，目前中微公司的刻蝕機上有60%的零部件是大陸國內採購的，在MOCVD設備上的零部件國內採購比例高達80%。但是，這60％至80%之中，還有一部分是由國外比較領先的供應廠商在大陸的子公司做的，剩下的20％至40%則仍依賴於進口，依然是離不開國外的供應商。他認爲，上述這些零部件未來可能也會受到一些限制，因此大陸國產設備商、零部件商最近兩年也正在解決這些零部件的自主可控問題。

尹志堯說明，自主可控並非所有的零部件都必須要自主研發，也不是隻能單純依靠國產廠商來供應。依然需要開放合作，團結可以團結的非美系供應商。比如中微公司的設備零部件的自主可控，一部分就是建立在非美系的國外供應商支持的。

他透露，中微的半導體設備雖然即將基本可以實現自主可控，但是在品質和可靠性方面與國外領先水準依然存在一定差距。比如，中微公司的刻蝕機雖可以覆蓋絕大部分的刻蝕應用，但與客戶羣處在技術的領先位置的國外廠商相比還差了兩、三代，所以還需要整個產業鏈追趕上去。

根據國際半導體產業協會、日本半導體制造裝置協會統計，2023年全球晶片設備（新品）銷售額爲1,062.5億美元，與上年相比萎縮1.3%。中國大陸市場銷售額年增29%至366億美元，連續第四年成爲全球最大晶片設備市場。