明遠展出臭氧供應系統 具發展潛力

明遠精密自主研發之高效節能射頻電源系統ACME。圖／明遠精密提供

日揚子公司明遠精密以電漿、鍍膜及電子技術爲核心，成立初期以遠端電漿系統、射頻電源、微波系統的維修及零件銷售爲主，近年研發出多項半導體設備電源主、副系統有成，深具發展潛力。

此次SEMICON明遠展出臭氧供應系統爲近年發展的主力產品，做爲國際半導體最大設備廠「唯一維修策略夥伴商」，明遠開發出用於LED產業ALD製程的臭氧產生器AOS-6800，通過SEMI S2認證，內建全新電控系統暨RS485通訊介面，包含流量及壓力控制器與濃度偵測器全數自主研發生產。明遠在臭氧供應系統關鍵零組件研發的掌握趨近完備，下一階段將與全球半導體最大設備商朝前段製程的新品方向協作開發。

射頻電源系統是明遠另一發展重點，早於三年前即推出自有品牌ACME，深受國內衆多半導體大廠肯定，也已打入日本市場，預計明年搶進中國。ACME的節能特色正符合產業ESG大趨勢，加上8吋晶圓廠舊有電源系統的汰換商機無限，該產品節能、高效、低維修率的優勢將爲明年的營運成長注入更多活水。而針對12吋晶圓廠，明遠也積極評估與夥伴設備商合作開發射電新品的可能性。

明遠精密盧俊宏總經理表示，明年對於既有成熟的維修服務市場可望提高市場佔有率，也希望將自有品牌產品拓展到更多市場。日揚集團明年啓動美國拓點計劃，有機會帶動明遠現有產品深入美國市場。而明遠擁有的關鍵技術在集團第三類半導體射電類系統的開發上，也將扮演重要角色，明遠亦展出機械手臂及RPS遠端電漿源系統，RPS新品已通過經濟部A+專案功能驗證，1-2年後將實現商品化。