目標是全球一流半導體設備公司：中微公司臨港產業化基地正式啓用

21世紀經濟報道記者 張賽男 上海報道

8月2日，中微公司（688012.SH）宣佈啓用其位於上海臨港的產業化基地。該基地配備先進生產車間及智能化立體倉庫等設施，標誌着20週歲的中微公司進入新發展階段。

中微公司創始人、董事長兼總經理尹志堯在致辭中表示，中微目標是2035年在規模和競爭力上成爲全球第一流的半導體設備公司。

尹志堯是1944年生人，今年已有80歲。他在現場動情表示，已經帶領中微20年，期待20年後在慶祝中微公司40週年之時再相聚。

新基地啓用

花甲之年的尹志堯回國創辦了中微公司，從2004年一張白紙開始，成爲2019年首批科創板上市企業；從當初一支僅有15人的創業團隊，逐漸成長爲如今全球員工超過兩千人。

中微公司的版圖也在擴張，從張江高科技園區內一間不起眼的辦公室，到足跡遍佈全球。目前，中微公司的客戶遍佈中國大陸和中國臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等10多個國家和地區。

而最新啓用的臨港產業化基地將成爲中微公司重要的生產基地，據介紹，該基地佔地約157畝、總建築面積約18萬平方米，配備實驗室、潔淨室、生產車間及智能化立體倉庫等設施，可實現生產全程數字化、智能化管理。

據悉，臨港產業化基地採用先進廠務管理系統，配備智能化立體倉庫，實現了對製造資源跟蹤、生產過程監控。

21世紀經濟報道記者在現場參觀了基地的生產車間和智慧倉儲平臺等，工作人員已進入到常態化的規模生產中。

此前的2023年7月，14萬平方米的中微公司南昌生產研發基地落成並投入使用；目前，位於滴水湖畔的中微臨港總部暨研發大樓也正在建設中，建成後佔地面積約10萬平方米。未來，中微公司的生產和研發基地總面積將達到約45萬平方米。

據工作人員介紹，到2024年公司累計已有超5000個反應臺在國內外130多條生產線實現量產和大規模重複性銷售。

推動設備國產化

在中國半導體設備行業的飛速發展下，近5年，中微公司營收和淨利潤均保持兩位數及以上增長。今年第一季度，中微公司營收16億元，同比增長31%；歸母淨利潤2.49億元，同比下降9.53%；扣非淨利潤2.63億元，同比增長15.40%。

中微公司作爲中國半導體設備龍頭，見證並引領了國產半導體設備的發展和崛起。中微公司主營產品包括半導體等離子刻蝕設備和用於LED的金屬氣相沉積設備（MOCVD）。其中，等離子體刻蝕設備是除光刻機以外最關鍵的微觀加工設備，是製程步驟最多、工藝過程開發難度最高的設備。

“一根頭髮的直徑是70微米，以一顆5納米制程的芯片元器件爲例，公司的微觀加工設備，就相當於在一根頭髮的1.4萬分之一尺度上蓋高樓大廈。”中微公司的一位工作人員這樣形象地向記者介紹。

據瞭解，憑藉行業首創的刻蝕設備雙臺機技術，中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念，其刻蝕精度已經達到100“皮米”以下水平，相當於頭髮絲350萬分之一的精準度，並且產品具備刻蝕應用覆蓋豐富等優勢，能夠滿足90%以上的刻蝕應用需求，技術能力已覆蓋5納米及以下更先進水平。

在年初舉辦的2023年業績說明會上，尹志堯曾透露，公司佈局了第四大設備市場——光學檢測設備。其表示，電子束檢測設備是當下集成電路產業的一個絕對短板，這個領域是未來市場需求最大的、最關鍵的半導體設備之一，未來會考慮涉及這一領域。

值得一提的是，在臨港基地啓用當天，多位半導體界的關鍵人物來到現場，包括中芯國際創始人張汝京、長江存儲董事長陳南翔……他們都是推動使用國產半導體設備的“吃螃蟹者”。

張汝京說，“在設備製造上我們已經有一流人才。從全球來看，除了光刻機生產我們還有差距，其他半導體設備我們基本上都追上了。就算有一些還有差距，但差距也比較小。”他還鼓勵國內的半導體設備企業可以“走出去”，到海外市場參與全球競爭。