廣東潤宇傳感器股份有限公司申請異型腔體制備和傳感器製備專利，簡化異型腔體制作工藝提高產品生產良率

金融界2024年11月26日消息，國家知識產權局信息顯示，廣東潤宇傳感器股份有限公司申請一項名爲“異型腔體制備方法和傳感器製備方法”的專利，公開號CN 119018846 A，申請日期爲2024年10月。

專利摘要顯示，本申請屬於微機械加工技術領域，具體涉及一種異型腔體制備方法和傳感器製備方法；該製備方法包括根據異型腔體的設計圖，在所述襯底上的島狀結構區或膜片區形成圖形化的硬掩膜層，得到預刻蝕結構；其中所述異型腔體包括至少兩種高度的島狀結構或至少兩種厚度的膜片不同高度的島狀結構對應不同厚度的硬掩膜或不同厚度的膜片對應不同厚度的硬掩膜；對所述預刻蝕結構進行刻蝕，以形成所述異型腔體。該方案只需對襯底進行一次刻蝕，即可在深腔底部製備出不同高度的島狀結構或者具有不同厚度的膜片，從而簡化了異型腔體制作工藝，提高了產品的生產良率。

本文源自：金融界

作者：情報員