艾司摩爾:新EUV能耗減少
半導體設備業者艾司摩爾(ASML)昨日在SEMICON Taiwan半導體展,分享新一代高數值孔徑極紫外光(High NA EUV)微影技術,艾司摩爾High NA EUV產品管理副總裁Greet Storms表示,新一代設備雖貴,但絕對值得。
High NA EUV於二○二三年問世,去年底出貨給首家下單的美系客戶,亞洲客戶將於今、明年陸續安裝。
不過,EUV設備被喻爲吃電怪獸,但ASML提出統計指出,二○一八年到二○二三年五年間,EUV曝光每片晶圓能耗減少近百分之四十,希望到二○二五年再減少近百分之卅五能耗。
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