見微科技 致力爲濺鍍產業領航

見微科技致力於提供濺鍍產業問題解決方案；圖爲該公司總經理蔡孟宏（左）與專案經理劉冀陽。圖／陳宥學

見微科技是致力於提供濺鍍產業問題解決方案的新創公司，其願景爲成爲最先進濺鍍產業服務業者，連結靶材製造商及靶材使用商成爲濺鍍產業中最具競爭力團隊，發展至今該公司依據濺鍍產業上下需求，持續發展各種最尖端新穎的電漿技術。

薄膜製造是一項技術密集產業，廣泛應用在科技產品，其中濺鍍技術是一不可或缺的關鍵技術。見微科技總經理蔡孟宏表示，臺灣在濺鍍（Sputter）薄膜領域已發展多年，已是一個相當成熟的產業，然而濺鍍設備中關鍵的濺鍍源（Sputtering Cathode）部件卻只依靠國外少數廠商提供。

隨着薄膜材料越趨複雜的合金化，濺鍍源與濺鍍靶材的搭配適切性越趨重要，需透過非常精密的材料與濺鍍源磁場設計搭配，在這方面，見微科技已與全球靶材商及臺灣光洋科在靶材與薄膜均勻性關係研究，進行多面向合作，成爲市場上極具潛力之產品。過去所有發展技術皆是圍繞濺鍍技術發展，濺鍍源又是可稱爲濺鍍設備的心臟部件，故見微科技將此技術列爲未來幾年的技術發展重點。目前已經成功開發了SC與SCR系列濺鍍源提供科研單位設備使用。