臺積 導入CDA流量控制減碳

臺積電表示，預計今年第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新。

臺積電實踐綠色製造，除以二大策略、六項行動方案擴大節能成效外，在不影響機臺效能的前提下，攜手設備供應商針對測試機臺開發智能壓縮乾燥空氣CDA流量控制系統，透過精準控制CDA流量輸出開關，不僅節省測試機臺70％的CDA用量，亦達到省電效果。截至今年3月，已導入先進封測廠針測機，每年減少碳排放量4,473公噸、省電891萬度。

晶圓測試的目的爲確認每片晶圓的可靠度與良率，依不同測試環境需求，部分測試機臺由廠務系統全時段供應CDA以確保低溫時仍保持乾燥，維持測試環境的穩定性。

臺積電表示，因半導體制程快速演進使測試需求持續增加，爲提升機臺運作與CDA使用效率，測試營運處於2020年第三季啓動智能CDA流量控制系統開發專案，與設備供應商合作改造測試機臺管路、控制閥件及控制軟體系統，透過擷取機臺參數，可依據測試環境需求自動控制CDA流量開關，非低溫測試環境時即關閉控制閥，達到有效節省CDA用量與電力的效益。

臺積電預計今年第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並將智能CDA流量控制系統列爲新建先進封測廠測試機臺標準設計，預估至2026年可年省4,000萬度電、減碳20,080公噸，相當於52座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量；臺積電亦規畫將智能CDA流量控制系統導入測試機，持續擴大節能效益，朝能源使用效率最佳化目標邁進。