7nm高端DUV光刻機獲准對中國出口 ASML：年底前全力交付

荷蘭政府已批准ASML公司生產的浸潤式DUV光刻機型號NXT:2000i出口到中國。（圖／路透）

今年輸入中國大量DUV光刻機的艾斯摩(ASML)表示，該公司生產的DUV光刻機型號NXT:2000i出口到中國已獲荷蘭政府批准，將持續在年底前向中國客戶交付這些支持38nm至7nm的先進半導體制造裝備。

據《快科技》報導，ASML已經獲得荷蘭官方的允許，在今年年底前向中國客戶出口其生產的先進半導體制造設備。該公司表示，一直到年底之前，ASML將能繼續出貨其NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品。這些產品從9月1日起受到相關法令的限制。

至於2024年是不是可以繼續對中國出口此一等級的DUV光刻機或更先進的半導體設備，ASML則表示暫時還無法確定。

據ASML官網提供的資訊，該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有3款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。目前已確知NXT:1980Di不在限制範圍內，NXT:2000i與NXT:2050i仍需獲得荷蘭政府的許可。

據ASML公佈財報指出，2023財年2季度銷售額處於高水平，其中高階EUV光刻機銷量呈現下滑，而營收成長主要來自於浸潤式DUV光刻機超出預期，尤其是中國市場在DUV光刻機佔比較1季度大幅成長200%，讓ASML的業績保持強勁成長。今年前7個月，中國從ASML進口的半導體設備較去年同期增長了64.8%。

半首體業界專家指出，儘管出口管制收緊帶來了挑戰，但中國對半導體設備進口額的大幅增長，顯示中國正在繼續擴大成熟製程的生產。據市場研究機構Counterpoint的資料顯示，今年第2季度，前5大半導體設備製造商對中國的出貨量增長了30%。