《興櫃股》創控首秀FOUP監測解決方案 助升先進製程良率

創控表示,FOUP內的污染在半導體制程中是項嚴峻挑戰,晶圓從乾淨到受污染,過程涉及FOUP排氣、轉移到晶圓及FOUP可能再次受到污染等階段,過去因爲缺乏監測解決方案,污染物持續交換會放大影響,導致缺陷、良率下降和設備使用壽命縮短。

創控的微環境監測整合式解決方案,能精準協助客戶監控包括NH3、Amines、SO2、IPA、Toluene、Acetone、HF、HCl等常見污染。其中,MiTAP系列產品從環境監測、FOUP潔淨度確認到設備機臺內的污染管控,都有最符合經濟效益的解決方案核心產品。

創控深耕半導體制程AMC監控管理十餘年,深知客戶在廠務、設備、管理、品管等各方面會面臨到AMC困擾,除致力於提供客製化AMC監控解決方案,更因應產業發展預先投入新產品研發,超前部署市場需求。

隨着AI應用推動半導體先進製程投資,創控受惠先進製程對AMC監測的剛性需求,在先進製程對生產環境潔淨度要求更嚴格狀況下,亦持續研發新產品協助客戶解決更多痛點,盼爲AI趨勢浪潮扮演幕後推手角色,與半導體產業共創商機。