《興櫃股》SEMICON TAIWAN揭幕 創控秀微污染量測實力

創控此次參與SEMICON TAIWAN 2023國際半導體展，除導入AI技術突破創新，展示「無人搬運車」（AGV）與「Smart FOUP」兩大應用平臺，亦將在創新技術發表會TechXPOT舞臺中，首次對外發表「次世代AMC微污染量測技術應用」。

隨着半導體制程持續演進、晶圓線寬續降，受氣體分子沉積影響就越明顯，使微污染監控日顯重要，監測指示越趨嚴格及多元。創控身爲懸浮氣體污染物（AMC）及揮發性有機氣體（VOCs）監控領導廠商，對此持續與先進製程廠商齊步同行。

創控表示，MiTAP產品藉由客製化且24小時連續檢測，已可滿足各大半導體廠商的各種需求。爲更精準掌握每個製程的潔淨度變化，公司進一步結合無人搬運車平臺，運用AI技術讓智慧巡檢機器人能跟隨製程移動，做到現地一條龍檢測，有效掌握製程環境變化。

至於Smart FOUP平臺則是將分析設備結合自動化物料搬送系統（AMHS），檢測晶圓每個移動路徑，包括氣體潔淨度（TVOCs）、溫度、溼度、震動等晶圓須注意的環境條件，協助客戶創造產品競爭優勢與價值，並能符合國際環保法規。

創控表示，MiTAP系列產品提供從實驗室到晶圓廠的AMC監測方案，憑藉「特定多項目標化合物分析」、「現地即時檢測」等技術，偵測極限達大型實驗室標準等級，創造兼具移動性、即時性、高頻率的監測分析。